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脉冲激光分子束外延系统(Pulse Laser Molecular Beam Epitaxy)
电子科技大学
TSST，TSST-PLD/PVD复杂氧化物薄膜材料的单层沉积，实现包括金属，氧化物和半导体材料的多材料，多组分沉积
四川省
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检测范围

PLMBE是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积，利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离，使其能够脱离靶材而向基底运动，进而在基底上沉积，从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中，脉冲激光分子束外延具有能保证靶材元素成分，实现复杂化合物薄膜沉积及异质

仪器参数

复杂氧化物薄膜材料的单层沉积，实现包括金属，氧化物和半导体材料的多材料，多组分沉积

仪器特色&服务特色

国防科工局十二五预研项目，国家自然基金项目等。
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