仪器参数
1.深度约10nm；2.元素价态分析；3.深度剖析：利用离子刻蚀功能，分析元素沿样品深度方向的种类、含量及化学状态及其变化；4.XPS成像：表面元素及化学状态分布成像（MAPPING）;5.离子散射谱ISS 功能；6.反射电子能量损失谱REELs功能，可对样品H含量半定量分析；7.高低温XPS：可使样品处于100K-600K温度范围；8.X射线应力仪：材料及其构件的宏观残余应力测定与分析四点弯曲样品加载台，可用于测定材料的X射线弹性常数 敏计数器；9.样品台：常规样品台、旋转样品台、高温样品台（室温至16
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