多功能扫描式电子显微镜(-)
中南林业科技大学
美国FEI公司,Quanta450
湖南省
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检测范围

冷台:低温状态;热台:高温状态;真空泵:样品室真空

仪器参数

1.加速电压:200V~30kV;2.放大倍数:6~100万倍,误差<3%;3.分辨率:3.0~10.0nm;4.真空度:高;6×10-4Pa,低:10Pa~3000Pa;5.冷台温度:-20℃~60℃,精度≤1℃;6.热台温度:最高1500℃,精度5℃。
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