检测范围
该机为扫描工作方式,具有计算机全自动控制、图象采集、数据处理和数字化图象处理功能、自动调校自检自验功能、自动对焦、自动消像散、自动明/暗对比度、提供各种保护和报警功能、提供相应附件接口和扩充功能,软件控制使用和维护维修方便。可以进行二次电子成像、背散射电子
仪器参数
探 测 器:二次电子探测器及背散射电子探测器。
放大倍率:光学放大:20-100倍;电子放大>100,000倍(非数字放大)
分辨率:优于15nm
加速电压:5-10kV连续可调
灯丝材料:非钨灯丝
抽真空时间:小于20s
导航界面:具备光学及电子双重导航(提供导航界面截图证明)
观察模式:标准模式/减轻放电模式样品室空气压力大于5Pa,可实现对不导电样品的无喷涂观察。