离子减薄系统(Precision Ion Polishing System)
中南大学
美国Gatan公司,691型
湖南省
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检测范围

透射电镜的制样

仪器参数

离子枪束能量:1.5KV-6KV;束直径:350μm FWHM at 5kev;离子束电流密度:10Ma;减薄速度:硅,每小时40μm,5kv;样品旋转:无极可变,每分钟1-6转;离子束调制:单一或双面横截面减薄;真空度:5E-6Torr基本压强,工作时间8E-5Torrbase;凹坑仪定位精度:小于10nm;减薄厚度控制:1μm。

仪器特色&服务特色

科研支撑
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