气体分析仪
所在单位：	华东师范大学
品牌/型号：	INFICON，QMG700
所在地区：	上海市
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仪器介绍

检测范围

通过时间飞行质谱方法测量分子束信号强度以及分子束的纵向速度分布

仪器参数

通过精密针阀向真空腔通入氩气，在Faraday探测模式下，当P=1×10-5Pa时，电流IAr+=4.5×10-11A，IAr2+=5×10-12A，灵敏度为5×10-4A/mbar；在SEM探测模式下，当P=1×10-5Pa时，电流IAr+=4.6×10-7A，IAr2+=5×10-7A，灵敏度为9.6A/mbar。

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