检测范围
光刻最小线宽?1um厂务要求?需要压缩空气，光学平台，真空设备曝光原理?采用图像拼接技术，存在拼接精度问题自动对焦功能?只能在曝光区域曝光区之间对焦，无法在曝光区内部对焦是否可加工6 inch样品?否加工样品速度（在4 inch样品，50%曝光区，使用SU8系列光刻胶，胶厚50um，0
仪器参数
光刻最小线宽?1um厂务要求?需要压缩空气，光学平台，真空设备曝光原理?采用图像拼接技术，存在拼接精度问题自动对焦功能?只能在曝光区域曝光区之间对焦，无法在曝光区内部对焦是否可加工6 inch样品?否加工样品速度（在4 inch样品，50%曝光区，使用SU8系列光刻胶，胶厚50um，0.5um最小线宽的情况下，总的处理时间（预处理时间+曝光时间））
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