检测范围
激光干涉校准仪可进行运动系统的多项精度测量。
仪器参数
波长0.633微米，10nm分辨率。
仪器特色&服务特色
针对光刻机双工件台系统样机开展了关键技术研发，涵盖了机械设计、制造、工艺、集成装配调试、控制系统研制、隔振、材料、动力学仿真等多学科领域交叉，突破了双硅片台微动台、粗动台，运动系统超精密测量、超精密运动控制、系统动力学分析、先进陶瓷材料制备及应用、先进复合材料应用等核心技术，掌握了光刻机工件台系统设计和集成技术。通过多轮样机的迭代研发，最终研制除两套α样机、一套干涉仪测量系统β样机、一套主动隔振系统β样机。
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