激光多普勒测振仪(jgdplczy)
西北工业大学
德国Polytec Gmb公司,MSA-500M
陕西省
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检测范围

MEMS器件的微小振动测试,包括: 位移、速率、谐振频率测试等

仪器参数

频率范围:0-1MHz,速度范围:+/-10m/s
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