超精密全息元件记录系统
北京理工大学
无,MA6
北京市
我们目前尚未与北京理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器,建议您联系相关单位,以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求,委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试,我们将为您提供以下保障:

所有仪器

行业专用仪器

检测范围

主要用途: 该设备主要用于制作亚微米图形,如光电子器件、微电子器件、微机电系统、超导电子学器件、次电子学器件等。 功能特色: 采用紫外光源,可以制作亚微米级图形,可用于制作各种微器件和低维人工结构。

仪器参数

技术指标: 品牌/型号:德国Suss Micro Tec Lithography GmbH,MA6
具体指标:晶片尺寸:2-6英寸;对准模式:正面和背面两种对准方式;接触方式:真空、低真空接触、硬接触、软接触和接近式接触;最小线宽:0.5μm;对准精度:±0.5μm。
如果找不到合适的仪器,您可以提交您的需求,由我们帮您匹配最优的服务商 提交需求