检测范围
可以对半导体、超导体、微电子器件、矿物、有机和无机物、生物样品进行常规的显微图象观察（TEM、SEM、STEM），直至原子尺度的结构像，同时也可以对微米-亚微米级的物质进行结构和化学成分分析。
仪器参数
条纹分辨率1.4A°，点分辨率1.8A°，线分辨率1A°，透射扫描附件分辨率15A°，加速电压300 kV，样品倾角±15°，EDAX X光能谱仪分辨率154 EV，
仪器特色&服务特色
该仪器启用十多年来，一直坚持对校内、校外研究者同时开放，以北大各院系内部使用为主、同时承担全国高校及各部委的研究院所以及民营科研单位的科研任务。目前承担着全校十多项“973”、“863”及“十五重大课题”，课题涉及物理学院、化学院、微电子所、电子学系，地空学院,每年培训几十名年轻教师和研究生，使其能独立电子显微镜。
分享
