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原子层沉积系统
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原子层沉积系统(ATOMIC LAYER DEPOZITION SYSTEMS)
所在单位:
北京大学
品牌/型号:
Cambridge Technology,Savannah
所在地区:
北京市
仪器说明:
我们目前尚未与
北京大学
提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器,建议您联系相关单位,以确定是否可以对外开放。您也可以通过
点击此处
提交需求,委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试,我们将为您提供以下保障:
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仪器介绍
检测范围
Input Voltaye:100-120VAC。通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔使之在基体上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术,可以以单原子膜形式一层一层地在基底表面沉积薄膜。
仪器参数
Input Voltaye:100-120VAC。
仪器特色&服务特色
科技部纳米专项项目2011CB933000,博士4人,硕士3人
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