薄膜溅射沉积系统(Is improving)
清华大学
AJA,ATC 2200
北京市
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所有仪器

分析仪器

检测范围

可沉积8英寸及以下样品

仪器参数

用于生长磁性材料薄膜,新型存储器材料薄膜

仪器特色&服务特色

宋成、吴华强、材料学院、微电子所、物理系
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