检测范围
主要用于对样品表面进行元素种类测定、同种元素不同化学状态定性及定量分析等方面的表征。XPS的工作原理是用光子能量在1000～1500ev之间X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来成为光电子，测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能binding energy,(Eb
仪器参数
Ultimate energy resolution on Ag FWHM≤0.5 eV；XPS energy resolution on PET FWHM≤0.85eV。
仪器特色&服务特色
服务能源研究所，以及材料科学领域
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