扫描式电子显微镜
浙江大学
日本日立公司,S3000N 可变压力,有冷冻样品台
浙江省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

用电子速扫描方式,获得样品表面微观三维图象

仪器参数

可变压力范围是1~270Pa,二次电子分辨率为3.0nm(25KV,高真空模式),背散射电子分辨率为4.5nm(25KV,可变压力模式),放大倍率是20~500,000(143级),加速电压0.3~30KV。本仪器配冷冻样品台(-20℃~10℃)。计算机控制,高分辨图象存储。
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