仪器参数
（1）、极限真空：≤4×10-7 Torr
（2）、工作真空：≤5×10-6 Torr（充入干燥氮气围条件下，40分钟内达到）
（3）、样品尺寸：≤100×100mm（边长）
（4）、设置四个蒸镀工位——配备蒸发舟三套（≥150A）、预留出一个空位用于蒸镀活泼材料蒸镀，实现双源同时蒸镀或单元掺杂等多种沉积模式。
（5）、UHV－电热型二维样品台（升、降、旋转、电热）：
可装载100×100(边长)ITO基片衬底一块，在原位真空条件下可实现电动Z向调节（±30mm）和连续旋转（5～30转/分钟、
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