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高精度纳米薄膜制备系统
华南理工大学
韩国SNU Precision，HELISYS *
广东省
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仪器参数

可以研制玻璃衬底全彩色AMOLED器件、柔性衬底全彩色AMOLED器件、以及白光照明器件；
加工基片的尺寸为方形200mm×200mm，有效成膜面积不小于180mm×180mm；兼容100mm×100mm的基片，有效成膜面积不小于90mm×90mm；
可蒸镀有机小分子、金属薄膜等，薄膜均匀性优于5%
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