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纳米压痕仪(Is improving)
清华大学
MTS公司，XP型
北京市
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美国安捷伦科技有限公司的XP型纳米压痕仪用于材料硬度和弹性模量等力学性能测量，同时也实现划痕测试，得到薄膜的结合力，样品表面粗糙度等信息。

仪器参数

（1）最大压痕深度：500微米。（2）最大载荷：500mN。（3）载荷分辨率：50nN。（4）可测量材料硬度、弹性模量、摩擦系数、界面结合力。

仪器特色&服务特色

清华大学，北京大学，北京航空航天大学，北京工业大学，中国科学院力学研究所，中国科学院半导体研究所，北京理工大学，中国地质大学，山东大学等
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