聚焦粒子束显微镜(Focus Ion Beam Microscope)
埃文思材料科技(上海)有限公司
FEI Co.,Micro9500
上海市
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检测范围

器件微观结构分析,IC线路修补,器件隔离

仪器参数

可满足当前最先进的半导体设计研发工艺需求
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