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激光平面度移相干涉仪(无)
所在单位：	上海大学
品牌/型号：	Zygo公司，GPI-XP/D'4'
所在地区：	上海市
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GPI？ XP/D激光干涉仪--运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。

测量光束直径（口径）：102mm;？氦-氖激光（波长632.8nm）;系统精度：平面为:λ/20

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