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微波等离子体化学气相淀积系统(无)
所在单位：	上海大学
品牌/型号：	OPTOSYSTEMS LTD，ARDIS100
所在地区：	上海市
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微波频率：2.45GHz；最大可沉积基片尺寸：≥2英寸；最大基片温度：1000 oC;极限真空度：≤5×10-7 Torr

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