仪器参数
在200mm×200mmd 曝光范围内光强不均匀性＜±5%。在曝光范围更小的情况下设备的设备可做得更好，在100mm尺寸达±2%及150mm尺寸达±4%。曝光时间在0.1-999.9S之间连续可调，调节精度为0.1S。曝光线条分辨率：（考虑光刻胶厚度为1um的情况下）真空接触式的条件下曝光分辨率≤0.6um 硬接触式条件下曝光分辨率≤0.8.双CCD镜头XY平面内可分开距离≥200mm，双镜头各自到中心点的距离范围：X方向：在30～200mm范围内可调。Y方向：±70mm Z方向：±5mm工厂推荐本套系统
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